1. 桌面型，普通實(shí)驗(yàn)臺(tái)即可安置。操作簡便上手快、使用成本極低、易于維護(hù)。1

2.適合于4~6寸硅片及相同面積去膠，可選配硅片專用托盤。

3.內(nèi)置雙層氣浴電極，有效提高清洗效率。配有節(jié)流閥，防止真空泵油霧回流。可選配耐用電極，降低長時(shí)間使用后的腔體污染。

4.配置200W/13.56MHz等離子發(fā)生器。兼顧物理作用和化學(xué)作用。

5.具備前后吹掃功能，保證樣品處理潔凈度，可配置獨(dú)立吹掃氣路。

6.可選配電極間距可調(diào)，對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。