專用氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置

獨(dú)特的射頻系統(tǒng)提供卓越的工藝重復(fù)性和處理效率

全自動(dòng)處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息

臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積

典型應(yīng)用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性：預(yù)壓模粘合；預(yù)焊線粘合

增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性：預(yù)成型；預(yù)倒裝芯片下溢

表面粗糙度和蝕刻

降低表面應(yīng)力，改善表面粘結(jié)性

灰化和表面清潔

Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)

電介質(zhì)/III-IV材料

納米涂層（配備液體前體輸送裝置）

耐水納米涂層：印刷電路板表面處理

防腐納米涂層：醫(yī)療器械，醫(yī)療植入物