樣品在經(jīng)過等離子清洗機處理后，樣品表面的化學成分會起到一定變化，這些變化，對樣品表面的親水疏水的特性改變起著至關重要的作用。

經(jīng)等離子清洗機處理后，鋁合金表面Al-O鍵有所增加，說明等離子體中的活性粒子可以使鋁合金表面活性增強，同時CH2/CH3等官能團的減少，說明鋁合金表面含碳污染物

減少，表面清潔度有所改善，水和OH鍵的增加，再次表明等離子體中活性離子使鋁合金表面潤濕性能顯著提高。

如上圖 5-6 所示。AA7075 鋁合金表面由 C、O、Al、N、Mg、 Zn、 Cu等主要化學元素組成，經(jīng)等離子體處理后的鋁合金表面 C、O、Al、N、Mg 等化學組分變化更加

明顯，等離子體中活性粒子與鋁合金充分相互作用，使得鋁合金表面 C含量減少，而O、Al、N、Mg等元素含量均有不同程度的增加。結合圖 5-6中的鋁合金表面XPS圖譜

可以看出，表面 C1s含量減少是主要原因是，由于等離子體中的活性粒子與鋁合金表面相互作用時間增加，活性粒子對基體表面快速沖刷，表面含碳污染物顯著減少，使鋁

合金表面含 Al、Mg 元素組分占比增加。而鋁合金表面 O、N 含量的增加，主要是由于空氣中氧氣和氮氣分子更容易被激勵電源電離，并吸附在鋁合金表面。

經(jīng)等離子體處理后，鋁合金表面C-O和O-C=O基團等含碳污染物減少約30%，同時 ATR-FTIR 及 XPS 表明，鋁合金表面-OH、Al-O 等極性基團增加約 20%，基體表面活性增強。